Năm 602, nhà Tùy sai Lưu Phương đem quân 27 dinh sang đánh nước Vạn Xuân. Vua đời thứ ba của Vạn Xuân là Lý Phật Tử sợ giặc và đầu hàng, bị bắt sang Trung Hoa. Việt Nam vào thời kỳ Bắc thuộc lần thứ 3 mà trước hết là thuộc Tùy. Thời đó, Việt Nam bị xếp làm một châu của Tùy, gọi là châu Giao (交州). Trên đường đánh Lâm Ấp quay về, Lưu Phương mắc bệnh chết.

Sau Lưu Phương, đến Khâu Hòa được cử làm đại tổng quản. Năm 618, nhà Đường lật đổ nhà Tùy, lập ra nước Đại Đường. Khâu Hòa xin thần phục nhà Đường năm 622. Việt Nam thành thuộc địa của Đại Đường.

Thời gian Bắc thuộc lần 3 của Việt Nam kéo dài hơn 300 năm.